等離子體是氣體分子在真空,放電等特殊場合下產生的獨特現(xiàn)象和物質.典型的等離子的組成是,電子,離子,自由基和質子.就好象把固體轉變成氣體需要能量一樣,產生離子體也需要能量.一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子,離子和自由粒子)混合組成.離子體能夠導電,和電磁力起反應.
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等離子體是氣體分子在真空,放電等特殊場合下產生的獨特現(xiàn)象和物質.典型的等離子的組成是,電子,離子,自由基和質子.就好象把固體轉變成氣體需要能量一樣,產生離子體也需要能量.一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子,離子和自由粒子)混合組成.離子體能夠導電,和電磁力起反應.
等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這時會發(fā)出輝光,故稱為輝光放電處理.輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大影響,另外與放電功率,氣體成分及流動速度,材料類型等因素有關.
等離子體有一些顯著的特征:
1) 氣體產生輝光現(xiàn)象,常稱為"輝光放電".由于是真空紫外光,其對蝕刻率有十分積極的影響.
2)氣體中包含中性粒子,離子和電子.由于中性粒子和離子溫度介于102-103K,電子能量對應的溫度高達105K,它們被稱為"非平衡等離子體"或"冷等離子體".但是它們卻表現(xiàn)出電中性(準中性).
3) 氣體所產生的自由基和離子活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應.等離子體中粒子的能量一般約為幾個至幾十電子伏特,大于聚合物材料的結合鍵能(幾個至十幾電子伏特),完全可以破裂有機大分子的化學鍵而形成新鍵;但遠低于高能放射性射線,只涉及材料表面,不影響基體的性能
等離子體可以通過直流或高頻交流電場產生.當采用交流時,只能選用電信規(guī)定的科研及工業(yè)用頻段(中頻(MF)40KHz,高頻(HF)13.56MHz,微波頻率(MW)2.45GHz),否則會干擾無線電通信.
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利用激發(fā)光源產生的能量作用于樣品,當某一能量施加到一個原子上,一些電子就改變其軌道,當這些電子返回到原來的軌道時,以一定波長的光形式恢復到原來的狀態(tài).因而,一個含有幾種不同元素的樣品將產生有每種元素特定的波長組成的光,通過用一色散系統(tǒng)將這些波長分開,我們就能測定存在哪一種元素和這些波長中每一種波長的強度,這些強度和相應的元素的濃度成一定的函數(shù)關系.同時利用電子接收系統(tǒng)測量這種發(fā)光強度,再用計算機處理這些信息,這樣就可以測出相關元素的濃度.
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等離子體是氣體分子在真空,放電等特殊場合下產生的獨特現(xiàn)象和物質.典型的等離子的組成是,電子,離子,自由基和質子.就好象把固體轉變成氣體需要能量一樣,產生離子體也需要能量.一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子,離子和自由粒子)混合組成.離子體能夠導電,和電磁力起反應.
等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這時會發(fā)出輝光,故稱為輝光放電處理.輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大影響,另外與放電功率,氣體成分及流動速度,材料類型等因素有關.
等離子體有一些顯著的特征:
1) 氣體產生輝光現(xiàn)象,常稱為"輝光放電".由于是真空紫外光,其對蝕刻率有十分積極的影響.
2)氣體中包含中性粒子,離子和電子.由于中性粒子和離子溫度介于102-103K,電子能量對應的溫度高達105K,它們被稱為"非平衡等離子體"或"冷等離子體".但是它們卻表現(xiàn)出電中性(準中性).
3) 氣體所產生的自由基和離子活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應.等離子體中粒子的能量一般約為幾個至幾十電子伏特,大于聚合物材料的結合鍵能(幾個至十幾電子伏特),完全可以破裂有機大分子的化學鍵而形成新鍵;但遠低于高能放射性射線,只涉及材料表面,不影響基體的性能
等離子體可以通過直流或高頻交流電場產生.當采用交流時,只能選用電信規(guī)定的科研及工業(yè)用頻段(中頻(MF)40KHz,高頻(HF)13.56MHz,微波頻率(MW)2.45GHz),否則會干擾無線電通信.
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等離子體是氣體分子在真空,放電等特殊場合下產生的獨特現(xiàn)象和物質.典型的等離子的組成是,電子,離子,自由基和質子.就好象把固體轉變成氣體需要能量一樣,產生離子體也需要能量.一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子,離子和自由粒子)混合組成.離子體能夠導電,和電磁力起反應.
等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這時會發(fā)出輝光,故稱為輝光放電處理.輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大影響,另外與放電功率,氣體成分及流動速度,材料類型等因素有關.
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1) 氣體產生輝光現(xiàn)象,常稱為"輝光放電".由于是真空紫外光,其對蝕刻率有十分積極的影響.
2)氣體中包含中性粒子,離子和電子.由于中性粒子和離子溫度介于102-103K,電子能量對應的溫度高達105K,它們被稱為"非平衡等離子體"或"冷等離子體".但是它們卻表現(xiàn)出電中性(準中性).
3) 氣體所產生的自由基和離子活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應.等離子體中粒子的能量一般約為幾個至幾十電子伏特,大于聚合物材料的結合鍵能(幾個至十幾電子伏特),完全可以破裂有機大分子的化學鍵而形成新鍵;但遠低于高能放射性射線,只涉及材料表面,不影響基體的性能
等離子體可以通過直流或高頻交流電場產生.當采用交流時,只能選用電信規(guī)定的科研及工業(yè)用頻段(中頻(MF)40KHz,高頻(HF)13.56MHz,微波頻率(MW)2.45GHz),否則會干擾無線電通信.
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